Elipsometrie

Spektroskopická elipsometrie je optická měřící metoda, která se používá pro charakterizaci tenkých vrstev. Tato metoda je založena na změně polarizace světla během odrazu od vzorku. Na základě naměřených dat následně můžeme určit některé parametry měřených vzorků (většinou tenkých vrstev) - například komplexní index lomu, tloušťku vrstvy, koeficient absorpce. Při použití kapalné cely je možné studovat i změny tenkých vrstev (botnání, rozpouštění) a adhezi biomolekul ve vodném prostředí. Námi používaný optický elipsometr M-2000DI (J. A. Woollam Co., Inc.) pracuje ve spektrálním rozsahu 192–1690 nm, přičemž pro zlepšení prostorového rozlišení je možné využít fokusačních nástavců.

zpět